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ProEye 01  晶圓自動缺陷檢測設備

 

ProEye 01  晶圓自動缺陷檢測設備



高效率

采用高速雙臂機械手，可縮短晶圓取放等待時間，有效提高檢測效率。




定位準確

高速直線電機平臺和高精度光柵尺以及驅控系統(tǒng)的完美配合，有助于實現(xiàn)快速、準確定位。





實時對焦

標配激光主動式高精度實時對焦系統(tǒng)，始終清晰的顯微圖像為準確識別缺陷提供有力的保障。




簡單易用

西勵自主開發(fā)的軟件系統(tǒng)，友好的中文界面，即使是初學者也可很快上手。配方編輯簡單直觀，可極大縮短新產品檢測導入時間。




定制算法
自主開發(fā)圖像處理算法，內置數(shù)十種基礎檢測模塊，可滿足常見的缺陷檢查及CD量測需求。也可依據用戶產品工藝差異，定制專用檢測算法，快速響應用戶對設備檢測能力的要求。



**可靠

設計和制造遵循SEMI S2, S8規(guī)范，充分考慮用戶對設備長期**性和可靠性的要求。





Wafer Frame 方案可選